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電子無塵室/潔凈室檢測
電子無塵室/潔凈室檢測項目和標準
| 檢測項目 | 適用對象 | 檢測標準 |
| 風速（單向流）檢測 | 電子無塵室/潔凈室 | 《電子工業潔凈廠房設計規范》GB50472-2008、《潔凈室施工及驗收規范》GB50591-2010 |
| 風量/換氣次數檢測 | ||
| 壓差檢測、高效過濾器檢漏 | ||
| 潔凈度檢測（粒子計數器法） | ||
| 溫度檢測、相對濕度檢測、微生物檢測 | ||
| 噪聲檢測、照度檢測 |
檢測方法
1.風量或風速
1）對于單向流潔凈室,應采用截面平均風速和截面乘積的方法確定送風量,并應取離高效過濾器300mm垂直于氣流的截面作為測試平面。應將測試平面分成相等的柵格,每個柵格尺寸應為600mm×600mm或末端空氣過濾器尺寸,測點應在柵格中或不應少于3點。每一點的測試時間不應少于10s。應記錄平均值、大值和小值,并應以算術平均值作為平均風速。
2）對于非單向流潔凈室,每一點的測試時間不應少于10s。
3）在每個末端空氣過濾器或散流器處,應采用風口法、風管法、風罩法等測量送風風速確定送風量,每個測試位置的測點數不應少于3點。
2.靜壓差
1）靜壓差的測定應在所有的門關閉時進行。
2）儀器宜采用各種型式的微壓計,儀表靈敏度應小于1.0Pa。
3）潔凈廠房有多個潔凈室(區)時,應從里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始,并應按順序向外進行檢測。
3.高效過濾器檢漏
1）儀器應使用采樣量大于1l/min的光學粒子計數器。
2）應在過濾器上風側引入大于等于0.1m(0.5gm)粒子,粒子濃度應大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過濾器下風側應用粒子計數器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20~30mm處,并應以5~20mm/s速度移動。應檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。
4.懸浮粒子數-塵埃粒子計數器
1）應使用采樣量大于1l/min光學粒子計數器,應根據粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數效率等要求選用儀器。儀器應有有效的標定合格證書。
2）少采樣點應按下式計算:
NL=A0.5
式中NL---------少采樣點
A-----------潔凈室或被控潔凈區的面積(m2)。
采樣點應均勻分布于潔凈室(區)的整個面積內,并應位于工作區的高度。
3）每一采樣點的每次采樣量應按下式確定:
Vs=（20/Cn，m）x100
式中Vs------每個采樣點的每次采樣量,以l表示,當V很大時,可使用順序采樣法。每個采樣點的小采樣時間為1min,采樣量應至少為2l
Cn.m------被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值(p/m3);
20------在規定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時,可測到的粒子顆數(顆)。
4）當潔凈室(區)僅有一個采樣點時,則在該點應至少采樣3次
5.氣流流型
◆氣流流型的檢測,宜采用氣流目測法。
◆氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注入法,并應用圖像處理技術記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應成為潔凈室(區)的一種污染源。
◆示蹤線法應為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等,直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。
◆示蹤劑注入法,可采用純水噴霧或化學法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,在高強度光源下進行觀察或做成圖像。
◆應采用圖像處理技術進行氣流目測,本法一般是與示蹤結合,將在攝像機或膜上的粒子圖像等經技術處理得到氣流特性。
◆氣流目測的測點位置、儀器等,應根據潔凈室(區)的具條件洽商確定。
6.溫度、相對濕度
1）溫度、相對濕度的檢測應在潔凈室(區)內氣流分布均勻狀態測試,并應在凈化空調系統試運轉合格后安排進行。溫度、相對濕度檢測應在凈化空調系統已經運轉,并應至少穩定運行1.0h后運行。
2）相對濕度檢測應將潔凈工作區劃分為等面積網格,每格大面積應為100m2,應每格一個測點,但每個房間不應少于2個測點。
3）檢測用探測器應設在潔凈室(區)內的工作高度,且距潔凈室(區)的吊頂、墻和地面不應少于300mm。并應考量潔凈室(區)內可能存在的熱源的影響。
4）檢測時間應至少1.0h,并應至少6min進行1次(30s)讀數,記錄。
7.噪聲
1）潔凈室(區)內的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。
2）潔凈室(區)內的噪聲檢測點應根據電子產品生產工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1~1.5m,距墻應大于3m;檢測點的布置宜按潔凈室(區)面積均分,宜每100m2設一檢測點
8.照度
1）潔凈室(區)內照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。
2）照度檢測應在室內溫度穩定、光源光輸出穩定后進行。潔凈室(區)照度檢測不應包括生產設備等的局部照明和備用照明。
3）照度檢測點應設在工作高度,宜距地面0.85m,應每25m2設一個測點。
9.自凈時間
1）自凈時間檢測,宜用于非單向流潔凈室。
2）自凈時間的檢測,宜采用大氣塵或煙霧發生器等人工塵源為基準,并宜以粒子計數器進行檢測,同時應符合下列要求:
◆以大氣塵為基準時,則必須將潔凈室停止運行相當時間在室內含塵濃度已接近于大氣濃度時,測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N0)。然后開機,定時讀數(一般可設置每間隔6s讀數一次),直到回風口處的含塵濃度回復到原來的穩定狀態,記錄下所需的時間(t)。
◆以人工塵源為基準時,應將煙霧發生器放置在離地面1.8m以上室中心,發煙1~2min后停止,等待1min,測出潔凈室內靠近回風口處的含塵濃度(N。)。然后開機,方法同上。
◆由初始濃度(N)、室內達到穩定的濃度(N)、實際換氣次數(n),可得到計算自凈時間(t0),與實測自凈時間(t)進行對比如果t≤1.2t0,為合格。
◆自凈時間檢測方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應洽商確定。
10.密閉性檢測
1）密閉性檢測或稱抑制滲漏測試,是測定潔凈室(區)有無受污染的空氣從周圍具有相同或不相同靜壓的較低潔凈度等級的潔凈室(區)或非潔凈室(區)侵入。本檢測一般用于ISO1~5級潔凈室(區)。
2）采用粒子計數器法檢測潔凈室(區)的密閉性,檢測時應先測量緊靠被測圍護結構表面外部的懸浮粒子濃度,一般此濃度應比潔凈室(區)內濃度大104,并大于等于3.5×106個/m3待測粒徑的粒子。
3）潔凈室(區)的施工接縫,包括對墻板、吊頂的接縫和管線、燈具等的接縫的滲漏檢測，應在被測部位的50~100mm處掃描,其掃描速度為50mm/s。
潔凈室敞開門處的滲漏檢測,應在距離門0.3~3.0m處測定潔凈室內的懸浮粒子濃度。記錄并報告比測得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數和位置。
11.懸浮微生物的采樣
1）采用無源采樣裝置,如培養皿。采用有源采樣裝置,如撞擊采樣器、離心采樣器、過濾采樣器。
2）空氣潔凈環境中懸浮微生物的靜態或空態檢測前,應對各類表面進行擦拭消毒,但不得對室內空氣進行熏蒸、噴灑之類的消毒。動態檢測均不得對表面和空氣進行消毒。層包裝保護培養皿,以防污染。當潔凈度很高，或預期含菌濃度可能很低時，采樣量應大于小采樣量很多，以滿足減少計數誤差的要求。
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